スラリーモーター（ポンプ）電流/流量監視システム

半導体CMP装置用スラリーモーター（ポンプ）の電流、およびスラリー流量の値を可視化・数値化し、異常時に アラームを発生させます。スラリー吐出量不良による生産ウェハのロスを未然に防げる監視システムです。

特徴

• モーターの電流値、スラリー流量値の一方または両方の可視化が可能です
• 表示端末はモニター、PC、タブレット、スマホなどから選択可能です
• 異常時にはアラームを発生させます
• オプションでインターロック制御も可能です（※装置仕様起因のため要お打ち合わせ）
• 表示方法、通信手段（外部クラウド/WiFi/Bluetooth 等）についてはカスタマイズ可能です