ロボットアーム（ブレード）位置監視システム

半導体ウェハ搬送ロボットのアーム（ブレード）の位置を可視化・数値化し、異常時にアラームを発生させます。 アーム位置のズレによる生産ウェハの落下・破損による製品ロスを未然に防げる監視システムです。

特徴

• アームとステージ間の距離、ステージと底部間の距離の一方または両方の可視化が可能です
• 表示端末はモニター、PC、タブレット、スマホなどから選択可能です
• 異常時にはアラームを発生させます
• オプションでインターロック制御も可能です（※装置仕様起因のため要お打ち合わせ）
• 表示方法、通信手段（外部クラウド/WiFi/Bluetooth 等）についてはカスタマイズ可能です