ガス残量監視システム

半導体製造プロセス（エッチング、スパッタリング、CVD 等）用ガスの残量をリアルタイムで可視化・数値化し、無駄の無い各種ガスボンベの管理を可能にします。

特徴

• ガスの残量をウェブ上でリアルタイムに可視化できます
• ガスの適切な交換時期を管理できます
• ボンベの重量管理が不要となり、老若男女問わずガス残量の管理が可能となります
• 表示端末はモニター、PC、タブレット、スマホなどから選択可能です
• オプションでガス漏れ量検知機能の追加も可能です
• 表示方法、通信手段（外部クラウド/WiFi/LAN 等）についてはカスタマイズ可能です