スマートファクトリー向けIoTシステム

スマートファクトリー(工場)を実現するためのIoTシステムの商品ラインナップを紹介します。

水漏れ監視システム(水漏れ検知キット)

PCやタブレットで複数個所の漏水状況の監視ができ、漏水時アラートメールを通知します。

ガス残量監視システム

半導体製造プロセス用ガスの残量をリアルタイムで可視化・数値化します。

ドライポンプ故障検知システム

ドライポンプの電流・温度・振動(加速度)を可視化・数値化し、故障前の予防保全を可能にします。

ロボットアーム(ブレード)位置監視システム

半導体ウェハ搬送ロボットのアーム位置を可視化・数値化し、異常時にアラームを発生させます。

ロボット速度・音・振動監視システム

半導体ウェハ搬送ロボットのアームの速度・音・振動を可視化・数値化し、異常時にアラームを発生します。

スラリーモーター(ポンプ)電流/流量監視システム

半導体CMP装置用スラリーモーターの電流、およびスラリー流量の値を可視化・数値化し、異常時にアラームを発生します。

遠隔指示カメラシステム

ヘルメットなどにカメラを装着し、現場の作業者目線で本部の担当者が遠隔指示を行えるシステムです。

可動設備モニタリングシステム

アームロボットなど動いている設備も決まった姿勢で撮影。Web上での可視化が可能です。

製造設備等の交流電流を測定しデータをクラウドにアップロード・保存。Web上で可視化が可能す。