真空シール 販売、修理、オーバーホール
真空装置の回転機構部に使われ、高速回転しながら大気(気体、蒸気、ミスト)と真空環境を完全に遮断する真空装置用磁性流体シールです。
真空シール 販売
特徴
- 製品販売以外にも修理やオーバーホールも対応しています。
- 標準品の販売だけでなく、顧客側の要望に応じた設計・製作にも対応します。
- 修理/オーバーホールは他社のものでも対応可能です。
- 他社品と比べてもお手頃な価格・リードタイムでお求めいただけます。
用途
半導体製造装置/太陽光発電装置/液晶パネル製造装置/有機EL製造装置 等の回転機構部の真空シール
- スパッタリング装置
- インライン蒸着装置
- イオン注入装置
- CVD装置
- エッチング装置
- 真空ロボット
- 真空熱処理炉
- 単結晶引き上げ装置
製品紹介
標準品
標準品をベースに装置側を設計したい場合はこちらをご利用ください。
特注品
装置側に合わせて真空シールを新規で設計したい場合はこちらをご利用ください。
下の使用条件表に必要事項をご記入いただければ、最適な真空シールをご提案させていただきます。
修理/オーバーホール

真空装置に使用される真空磁気シールをリーズナブルプライスで修理、オーバーホールします。

当方製品以外の他メーカー品の修理も対応しております!