Eulitha社が『SEMICON JAPAN 2025』へ出展します。
2025/11/12
2025年12月17日（水）から12月19日（金）にかけて開催される 『SEMICON JAPAN 2025』へEulitha社が出展します。
Eulitha社(スイス)はフォトニクス製造向け高品質リソグラフィーソリューションを提供しています。
詳細は以下の通りです。
開催概要
| 会期 | 12月17日（水）～12月19日（金） |
|---|---|
| 会場 | 東京ビッグサイト 西ホール |
| ブースNO | W1423 |
| 来場者登録はこちらから | https://www.semiconjapan.org/jp/about/pricing-and-register |
展示内容
Eulitha社(スイス)の露光装置 PHABLEシリーズ
AR/VR 導波路や半導体レーザー(VCSEL, DFBなど)のグレーチングパターンの製造に適した露光装置です。
Eulitha社の画期的なPHABLE露光テクノロジーはAR/VR分野で使われる導波路などの周期的なパターンの低コスト且つ高品質な製造を可能にします。
- UVモデルは 125nmハーフピッチ（リニアグレーチング）
- DUVモデルは 65nmハーフピッチ（リニアグレーチング）
の解像度に対応しています。
PhableR
- R＆D及び少量生産向け露光装置
- マニュアルローディング、 自動露光
- 標準モデルは～Φ6インチウェハサイズに対応（大口径ウェハサイズにも対応可能）
PhableX
- 量産対応機
- カセット対応、 自動露光
- 標準モデルは～Φ8インチウェハサイズに対応（大口径ウェハサイズにも対応可能）
PhableS
- 量産対応機
- ステッパタイプ、 自動ローディング、 自動露光
- 標準モデルは～Φ１２インチウェハサイズに対応（大口径ウェハサイズにも対応可能）
HUD (Head Up Display) デモ展示 (予定)
Phable露光技術により作製されたウェーブガイドを搭載したHUD（ヘッドアップディスプレイ）の実機展示。
Exhibitor’s TechSPOT にて Eulitha社がプレゼンテーションを実施します。（無料）
| 日時 | 12月17日（水） 11:00～11:30 |
|---|---|
| 会場 | 西2ホール オープンスペース |
https://semi.eventos.tokyo/web/portal/609/event/14407/module/booth/401957
Phableシリーズについては、下記リンクもご参照ください。
https://www.kyodo-inc.co.jp/electronics/equipment/phabler.html
是非、ご来場・お立ち寄りください。