『MEMS センシング & ネットワークシステム展 2024』へ出展します。

2023/12/22

2024年1月31日（水）から開催されます『MEMS センシング＆ネットワークシステム展 2024』に出展致します。

詳細は以下の通りです。

開催概要

会期	2024年1⽉31⽇（⽔）〜2月2⽇（⾦）10：00-17：00
会場	東京ビッグサイト東5ホール
小間番号	5C-15

展示内容

ＭＥＭＳ試作・量産トータルソリューション

弊社保有の加⼯設備および国内外のネットワークを駆使し、MEMSデバイスの設計〜試作〜量産までをお客様のご予算と スケジュールに合わせ、最適なソリューションを提供します。

＜加工プロセス例＞

• 成膜（スパッタ、蒸着、CVD、メッキ、ALD　他）
• フォトリソ（アライナー、ステッパー、EB描画　他）
• エッチング（ウェット、ドライ、高アスペクト比深堀り（ICP）、イオンミリング　他）
• CMP加工（各種薄膜の平坦化、直接接合前の平坦化　他）
• 接合加工（常温接合、プラズマ接合、陽極接合、共晶接合　他）
• イオン注入
• 熱処理／アニール処理（レーザーアニール、RTA、 熱拡散炉　他）
• ダイシング／ウエハ薄厚加工（ダイサー、ステルスダイシング、BG加工　他）
   

＜ＭＥＭＳ量産ファウンドリー“Silex Microsystems社”の紹介＞

• 独自TSV技術　｢Sil-Via^®｣　｢Met-Via^®｣
• 独⾃TGV(ガラス貫通ビア)技術
• 独⾃キャッピング技術　｢Sil-CAP^®｣　｢Met-CAP^®｣　｢TGV-CAP^®｣
• スパッタリングPZT膜の量産
   

＜フレキシブルMEMS開発＞

• 有機材料 上へのナノ・マイクロ構造形成技術
• フィルム・シートなど⾮平⾯基板への微細パターニング加⼯
• 8インチ以下に対応可能

ナノインプリント トータルソリューション

モールド作製から転写まで⼀貫したサービスの提供

• 微細モールド
• 各種お試しモールド（Si, Ni, 石英)
• モールド複製、洗浄サービス
• 周期的なパターン（ウェーブガイド、反射防止膜など）に適した低価格露光装置(Phableシリーズ)

是非、ご来場・お立ち寄りください。