『SEMICON Japan 2023』へ出展します。

試作ファウンドリー（成膜・フォトリソ・NIL）

先端課題向けソリューション

● パワーデバイス向けサービス

• SiC、GaN、Ga₂O₃基板への受託加工
  (各種成膜手法・膜種対応、フォト・エッチング対応　その他)

● 5G（6G）向けサービス

• AlN基板への受託加工
  （微細回路パターニング加工　その他）

● VR/AR向けサービス

• ナノインプリント加工
  （高屈折率樹脂使用）
• グレーティングモールド作製
• ナノインプリント用お試しモールド販売

● 機能性材料開発向けサービス

• 樹脂材、セラミックスのプラズマ耐性評価
• 2元同時成膜での薄膜合金評価
• デスクトップナノ粒子生成装置 「VSparticle」

● MEMS量産ファウンドリー”Silex Microsystems社”

• 独自TSV技術 ｢Sil-Via^®｣ ｢Met-Cap^®｣
• MEMSデバイス薄厚化に対応した独自TGV技術

工場を向上！（生産性・コスト・省人化）

工場・生産現場の課題向けソリューション

● メンテナンスパーツ（販売・洗浄・修理・再生・O/H）

• チャッククリーニングウェハ（CCW）
• PC/FC98➡Windowsエミュレーター
• Dual HDDミラーリングシステム
• FD➡Compact Fｌash（CF）コンバーター

● いろいろ買えるオンラインストア

• 中古部品・装置部品・電子材料・ウェハ・加工装置 etc.

● スマートファクトリー向けIoT

• AI ROBOTSソリューション
• 現場作業見える化パッケージ™
• Meister AR Suite™

● フェーズレイテクノロジー

• 拡大鏡付検査用照明装置
  「inVIEW CIRCLE LIGHT」（インビュー サークルライト）