Eulitha社が『第3回XR総合展(夏)』へ出展します。
2023/06/14
2023年6月28日（水）から6月30日（金）にかけて開催される 『第3回XR総合展(夏)』へEulitha社が出展します。
Eulitha社(スイス)はフォトニクス製造向け高品質リソグラフィーソリューションを提供しています。
詳細は以下の通りです。
開催概要
| 会期 | 6月28日（水）～6月30日（金） |
|---|---|
| 会場 | 東京ビッグサイト 東ホール) |
| ブース番号 | Hall 8、No.: 32-11 |
| 来場者登録はこちらから | |
展示内容
Eulitha社(スイス)の露光装置 PHABLEシリーズ
AR/VR 導波路上で回折光学素子を製造するためのより良い方法。
Eulitha社の画期的なPHABLE露光テクノロジーはAR/VR分野で使われる導波路などの低コスト且つ高品質な製造を可能にします。
UVモデルは 125nmハーフピッチ（リニアグレーチング）
DUVモデルは 65nmハーフピッチ（リニアグレーチング）
の解像度に対応しています。
PhableR
- R＆D及び少量生産向け露光装置
- マニュアルローディング、 自動露光
- 標準モデルは～Φ6インチウェハサイズに対応
（大口径ウェハサイズにも対応可能）
PhableX
- 量産対応機
- カセット対応、 自動露光
- 標準モデルは～Φ8インチウェハサイズに対応
（大口径ウェハサイズにも対応可能）
PhableS
- 量産対応機
- ステッパタイプ、 自動ローディング、 自動露光
- 標準モデルは～Φ１２インチウェハサイズに対応
（大口径ウェハサイズにも対応可能）
是⾮、ご来場・お⽴ち寄りください