『JCK MEMS/NEMS 2022』に出展します。

2022/09/09

2022年10月16日(日)から10月19日(水)にかけて開催される第13回『JCK MEMS/NEMS 2022』の学会へ出展いたします。

JCK MEMS/NEMSは日本/中国/韓国のMEMS/NEMS関連組織による合同学会です。
展示会期間の10/17~18に出展致します。今年は対面形式・オンライン形式のハイブリッドで開催されます。

詳細は以下の通りです。

開催概要

会期 10月16日(日)~10月19日(水)
展示会期間:10月17日(月)~10月18日(火)
会場 鹿児島大学

展示内容

1.ウエハ受託加工サービス、少量試作~量産対応

自社設備、国内、海外の協業先ネットワークを生かしたナノ・マイクロレベルのウエハ受託加工サービス。少量試作~量産まで対応します。

加工プロセス例:

  •  成膜(スパッタ、蒸着、CVD、メッキ、ALD  他)
  •  フォトリソ(アライナー、ステッパー、EB描画  他)
  •  エッチング(ウェット、ドライ、RIE, ICP、イオンミリング 他)
  •  CMP加⼯, ボンディング
  •  イオン注⼊
  •  熱処理/アニール処理
  •  ダイシング/ウエハ薄厚加⼯
  •  ナノインプリント     など

MEMS量産については、スウェーデンのSilex社と試作検討段階から協業し対応しています。量産移管からの対応も可能です。

2.NIL(Nano Imprint Lithography)トータルソリューション

モールド作製から転写まで一貫したサービスの提供

  • 微細モールド
  • 各種お試しモールド(Si, Ni, 石英)
  • モールド複製、洗浄サービス
  • コンサルティング     など

3.ポリマーMEMS開発

NILで培った樹脂加工のノウハウと従来からのシリコンプロセスのノウハウを組み合わせたポリマーMEMSソリューションを提案します。試作サンプルの展示もいたします。

是非、ご来場・お立ち寄りください。