『MEMS センシング & ネットワークシステム展 2020』へ出展します。

2019/12/17

2020年1月29日(水)− 31日(金)、東京ビックサイトにて開催されます『MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2020』へ出展致します。

詳細は以下の通りです。

開催概要

開催日時 2020年1月29日(水)-31日(金) 10:00-17:00
開催場所 東京ビッグサイト 西2ホール/会議棟
ブース No

2W-P02

展示内容

MEMS試作・量産トータルソリューション

MEMS試作・量産トータルソリューション
弊社保有の加工設備および国内外のネットワークを駆使し、MEMSデバイスの設計〜試作〜量産までを、お客様のご予算とスケジュールに合わせ、最適なソリューションを提供します。

[ 加工プロセス例 ]

  • 成膜(スパッタ、蒸着、CVD、メッキ、ALD 他)
  • フォトリソ(アライナー、ステッパー、EB描画 他)
  • エッチング(ウェット、ドライ、高アスペクト比深堀り(ICP)、イオンミリング 他)
  • CMP加工(各種薄膜の平坦化、直接接合前の平坦化 他)
  • 接合加工(常温接合、プラズマ接合、陽極接合、共晶接合 他)
  • イオン注入
  • 熱処理/アニール処理(レーザーアニール、RTA、熱拡散炉 他)
  • ダイシング/ウエハ薄厚加工(ダイサー、ステルスダイシング、BG加工 他)
  • ナノインプリント(モールド作製、樹脂転写加工、離型材処理、各種コンサルティング)

[ 微細加工装置 ]

  • 多目的樹脂製スピンコーター"POLOS" 
  • ナノパターン露光装置"PhableR 100" 
  • UVナノインプリント装置"TEXシリーズ" 

[ 共同出展:MEMS量産ファウンドリー "Silex Microsystems社" ]

  • 独自TSV技術 「Sil-Via」 「Met-Cap」
  • MEMSデバイス薄厚化に対応した独自TGV技術
  • スパッタリングPZT膜の量産
  • バイオ、メディカル向けマイクロニードルの量産

IoTトータルソリューション
IoTシステム構築に求められる「デバイス設計及び量産・通信・セキュリティ・データ処理」をトータルにサポートいたします。

[ IoTデバイス例 ]

  • IoTシステム構築スターターキット
  • 可動設備のカメラモニタリング
  • 電流測定

どうぞ弊社ブースへお立ち寄りください。