『SEMICON Japan 2019』へ出展します。

2019/11/13

2019年12月11日[水]〜13日[金]、東京ビッグサイトにて開催されます『SEMICON Japan 2019』へ出展致します。

詳細は以下の通りです。

開催概要

開催日時 2019年12月11日[水]〜13日[金]10:00−17:00
開催場所 東京ビックサイト(西展示棟・南展示棟・会議棟)
ブースNO

2ホール 3455、3ホール 5428

ブースNO

出展内容

前工程 ゾーン:3455(2ホール)*2つのソリューションを提案!

研究開発向けソリューション

< 試作・量産ファンドリーサービス >

  • スパッタリング、蒸着、各種CVD、ALD、めっき
  • フォトリソ、エッチング、ナノインプリント

< 独自技術・商品 >

  • 薄膜熱電対
  • Spin On Glass
  • 二次電池向け固体電解質成膜”LiPON”

< MEMS量産ファウンドリー”Silex Microsystems社” >

  • 独自TSV技術「Sil-Via」「Met-Cap」
  • MEMSデバイス薄厚化に対応した独自TGV技術
  • スパッタリングPZT膜の量産
  • バイオ、メディカル向けマイクロニードルの量産

< 微細加工装置 >

  • デスクトップナノ粒子生成装置”VS particle”
  • 多目的樹脂製スピンコーター"POLOS" 
  • ナノパターン露光装置"PhableR 100" 
  • UVナノインプリント装置"TEXシリーズ"

量産工場向けソリューション

< 製造プロセスの改善・改良 >

  • チャッククリーニングウエハ(CCW)
  • 長寿命CMPリテーナーリング

< 装置の老朽化・延命 >

  • メーカーサポート終了品の修理対応
  • 製造中止品のアップグレードの提供

< 消耗パーツの販売、修理、再生、オーバーホール >

  • CMP
  • イオン注入
  • CVD、スパッタ
  • フォトリソ、エッチング

Smart Applications Zone :5428(3ホール)

IoTトータルソリューション

IoTシステム構築に求められる「デバイス設計及び量産・通信・セキュリティ・データ処理」をトータルにサポートいたします。

  • CMP装置用パッドコンディショナーのトラブル検知モニタリングシステム
  • IoTシステム構築スターターキット
  • 可動設備のカメラモニタリング
  • 電流測定

ご来場予定の皆様、是非弊社ブースへお立ち寄り下さい。