『MEMS センシング & ネットワークシステム展 2018』へ出展します。

2018/09/14

2018年10月17日(水)− 19日(金)、幕張メッセ国際展示場にて開催されます『MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2018』へ出展致します。

詳細は以下の通りです。

開催概要

開催日時 2018年10月17日(水)− 19日(金) 10:00-17:00
開催場所 幕張メッセ・国際展示場
ブース No

11-H

展示内容

MEMS試作・量産トータルソリューション

MEMS試作・量産トータルソリューション
弊社保有の加工設備および国内外のネットワークを駆使し、MEMSデバイスの設計〜試作〜量産までを、お客様のご予算とスケジュールに合わせ、最適なソリューションを提供します。

[ 加工プロセス例 ]

  • 成膜(スパッタ、蒸着、CVD、メッキ、ALD 他)
  • フォトリソ(アライナー、ステッパー、EB描画 他)
  • エッチング(ウェット、ドライ、高アスペクト比深堀り(ICP)、イオンミリング 他)
  • CMP加工(各種薄膜の平坦化、直接接合前の平坦化 他)
  • 接合加工(常温接合、プラズマ接合、陽極接合、共晶接合 他)
  • イオン注入
  • 熱処理/アニール処理(レーザーアニール、RTA、熱拡散炉 他)
  • ダイシング/ウエハ薄厚加工(ダイサー、ステルスダイシング、BG加工 他)
  • ナノインプリント(モールド作製、樹脂転写加工、離型材処理、各種コンサルティング)

[ 共同出展:MEMS量産ファウンドリー "Silex Microsystems社" ]

  • 自社製品を持たない世界No.1のPurePlayMEMSファンドリー。
  • 最新のMEMS専用φ8”量産ラインを所有。
  • 独自TSV技術「Sil-Via」「Met-Via」「Met-Cap」を開発。
  • MEMSデバイス薄厚化に対応した独自TGVを開発。
  • セミカスタム圧力センサ製造サービス‘RocketMEMS’を開始。
  • スパッタリングによるPZT膜生産技術を確立。 バイオ/メディカル向けマイクロニードルの量産。
家畜生体情報モニタリング用ウェアラブルデバイス

IoTトータルソリューション
IoTシステム構築に求められる「デバイス設計及び量産・通信・セキュリティ・データ処理」をトータルにサポートいたします。

[ IoTデバイス例 ]

  • IoTシステム構築スターターキット(セット内容:センサー/ゲートウェイ/クラウド/アプリ)
    取り付けはわずか30分で完了。その瞬間からデータ収集(可視化)が可能です。
    装置稼働率管理/アナログ管理からデジタル管理へ/装置故障予知などが可能となります。      
  • 家畜生体情報モニタリング用ウェアラブルデバイス ”インテリジェント鼻輪“ (開発中)

どうぞ弊社ブースへお立ち寄りください。