『Sensors EXPO 2018』に出展します。

2018/05/21

2018年6月27日[水]-28日[木]の日程で、 San Jose McEnery Convention Center (米国、カリフォルニア州)にて開催されます『Sensors EXPO 2018』へ出展致します。

詳細は下記の通りです。

開催概要

 開催日程 2018年6月27日[水]-28日[木]
 会 場 San Jose McEnery Convention Center(米国、カリフォルニア州)
ブースNo. 1729

展示内容

成膜、フォトリソ、エッチング、CMP、接合加工などのプロトタイプMEMSファウンドリーサービス。

[ プロトタイプMEMSファウンドリーサービス ]

  • 各種プロセス
    成膜:スパッタ、蒸着、各種CVD、ALD、めっき
    フォトリソ:両面アライナー、ステッパー、EB、ナノインプリント
    エッチング:ウェット(等方性、異方性)、ドライ(DRIE,ICP,イオンミリング), 犠牲層エッチ
    CMP/接合:平坦化処理、接合前CMP、金属接合、樹脂接合、直接常温接合
  • 静電容量アクチュエーター、ピエゾ粘度センサ
  • TSV
  • バイオMEMS向けマイクロフルイディクス
  • オプトMEMS向けナノインプリントサービス

是非当社ブースへお立ち寄りください。