『MEMS センシング & ネットワークシステム展 2017』へ出展します。

2017/08/30

2017年10月4日(水)− 6日(金)、幕張メッセ国際展示場にて開催されます『MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2017』へ出展致します。

詳細は以下の通りです。

開催概要

開催日時 2017年10月4日(水)− 6日(金) 10:00-17:00
開催場所 幕張メッセ・国際展示場
ブース No

11-H

展示内容

MEMS試作・量産トータルソリューション
弊社保有の加工設備および国内外のネットワークを駆使し、MEMSデバイスの設計〜試作〜量産までを、お客様のご予算とスケジュールに合わせ、最適なソリューションを提供します。

[ 加工プロセス例 ]

  • 成膜(スパッタ、蒸着、CVD、メッキ、ALD 他)
  • フォトリソ(アライナー、ステッパー、EB描画 他)
  • エッチング(ウェット、ドライ、高アスペクト比深堀り(ICP)、イオンミリング 他)
  • CMP加工(各種薄膜の平坦化、直接接合前の平坦化 他)
  • 接合加工(常温接合、プラズマ接合、陽極接合、共晶接合 他)
  • イオン注入
  • 熱処理/アニール処理(レーザーアニール、RTA、熱拡散炉 他)
  • ダイシング/ウエハ薄厚加工(ダイサー、ステルスダイシング、BG加工 他)
  • ナノインプリント(モールド作製、樹脂転写加工、離型材処理、各種コンサルティング)

[ 共同出展:MEMS量産ファウンドリー "Silex Microsystems社" ]

  • 自社製品を持たない世界No.1のPurePlayMEMSファンドリー。
  • 最新のMEMS専用φ8”量産ラインを所有。
  • 独自TSV技術「Sil-Via」「Met-Via」「Met-Cap」を開発。
  • MEMSデバイス薄厚化に対応した独自TGVを開発。
  • セミカスタム圧力センサ製造サービス‘RocketMEMS’を開始。
  • Sol-Gel法によるPZT膜生産技術を確立。 バイオ/メディカル向けマイクロニードルの量産。
MEMS試作・量産トータルソリューション

IoTトータルソリューション
IoTシステム構築の為には、デバイス設計及び量産、通信、セキュリティ、データ処理などを統合する必要があり、そのための多岐にわたる技術およびプロジェクトマネジメントが求められます。 当社は、お客様のIoTシステム構築をトータルでコーディネートします。

[ IoTデバイス例 ]

  • 生体情報モニタリング用ウェアラブルデバイス ”インテリジェント鼻輪(開発中)”
  • IoTシステム構築スターターキット

どうぞ弊社ブースへお立ち寄りください。