『MEMSセンシング&ネットワークシステム展』に出展します。

2016/08/10

2016年9月14日(水)〜 16日(金)、パシフィコ横浜で開催されます『MEMSセンシング&ネットワークシステム展2016』へ出展致します。

詳細は以下の通りです。

開催概要

開催日時 2016年9月14[水]〜 16日[金] 10:00-17:00
開催場所 パシフィコ横浜
ブースNO

G-6

出展内容

MEMS量産ファウンドリー
共同出展:スウェーデン Silex microsystems

  • 自社製品を持たない世界No.1のPurePlayMEMSファンドリー。
  • MEMS専用Φ6“/最新φ8”量産ラインを所有。
  • 独自TSV技術「Sil-Via」「Met-Via」「Met-Cap」を開発。
  • MEMSデバイス薄厚化に対応した独自TGVを開発。
  • セミカスタム圧力センサ製造サービス‘RocketMEMS’を開始。
  • Sol-Gel法によるPZT膜生産技術を確立。
  • バイオ/メディカル向けマイクロニードルの量産。
MEMS量産ファウンドリー

MEMS試作ソリューション

長年の経験で培ったノウハウを元に、MEMSデバイスの試作・開発に最適な加工プロセスを提供します。

【加工プロセス例】

  • 成膜(スパッタ、蒸着、CVD、メッキ、ALD 他)
  • フォトリソ(アライナー、ステッパー、EB描画 他)
  • エッチング(ウェット、ドライ、高アスペクト比深堀り(ICP)、ブラスト 他)
  • CMP加工(各種薄膜の平坦化、直接接合前の平坦化 他)
  • 接合加工(常温接合、プラズマ接合、陽極接合、共晶接合 他)
  • イオン注入
  • アニール処理(レーザーアニール、RTA、熱拡散炉 他)
  • ナノインプリント(モールド作製、樹脂転写加工、離型材処理、各種コンサルティング)
MEMS試作ソリューション

微細加工装置

  • R&D向けナノオーダー露光装置“PhableR 100”
  • 小型、リーズナブルなR&D向け“UVナノインプリント装置”
  • 樹脂製多目的スピンコーター“SPIN150i”
  • 全て樹脂で出来ており耐薬品性に優れている為、これ1台で様々なスピンプロセス(コート、エッチング、現像、洗浄、乾燥)に対応できます。
  • マスクアライナー“OAI社製マスクアライナー”米国OAI社の高品位なライトソースを使用し、R&D〜量産まで最適なマスクアライナーを提案します。
微細加工装置

ご来場予定の皆様、是非弊社ブースへお立ち寄り下さい。