化学とマイクロ・ナノシステム学会『CHEMINAS 50』へ出展します。
2024/10/29
2024年11 月25日(月)~27日(水)、仙台国際センター展示棟にて行われる化学とマイクロ・ナノシステム学会『CHEMINAS 50』へ出展します。
詳細は以下の通りです。
開催概要
開催日程 | 2024年11月25日(月)~27日(水) |
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会 場 | 仙台国際センター展示棟(宮城県仙台市) |
展示内容
Elveflow 空圧式マルチチャンネルポンプ マイクロ流体フローコントローラー
精度高く、脈動が少ない空圧式の送液ポンプです。流量/圧力センサー、送液切換えバルブ等、周辺機器も充実しており、様々なアプリケーションに対応します。

MEMETIS 流体制御用超小型バルブ
極薄形状記憶合金アクチュエーター採用した開閉バルブです。従来のソレノイドバルブと比較して小型、軽量、省エネを実現しました。

ナノ・マイクロ微細加工
豊富なターゲット在庫(約120種類)や成膜(スパッタリング、蒸着、CVD)、エッチング(ドライ、ウェット)加工ノウハウを蓄積している弊社の薄膜受託加工サービスを提供します。
ナノ・マイクロシステム・センサ・アクチュエーター・実装等の様々な分野への技術提供が可能です。開発コスト削減やスピーディーな研究開発を実施するとともに、少量生産にも対応いたします。
<対応プロセス>
- スパッタ成膜、蒸着成膜、CVD、メッキ等
- イオン注入
- リソグラフィ(コンタクトアライナー、ステッパー、EB描画等)
- エッチング(ドライおよびウェットエッチング)
- CMP加工
- 接合加工(常温接合、プラズマ接合等)
- MOCVD加工(GaNなど)
樹脂製スピンコーター「POLOS®」
樹脂製スピンコーターです。一般的なスピンコーターはステンレスを用いる為、金属汚染、耐薬液性、洗浄の手間の問題がありますが、樹脂製スピンコーターPOLOSにおいてはそれらの課題に悩まされる事はありません。レジスト塗布・エッチング・洗浄・乾燥 等 マルチに使用できるメリットがあります。

どうぞお立ち寄りください。