Target Bonding Reference Information

Materials
Ag, Ag-alloy
Al, Al2O3, AlN, Ai-Si, Al-Cu, Al-Si-Cu, Al-Ti, Al-Nd
Au, Au-Sn, Au-Zn, Au-Ge, AZO
Ba
C
Co, Co-Fe
Cr, Cr2O3, Cr-SiO
Cu, Cu2O, Cu-alloy
Fe, Fe2O3, Fe-Al
Ge, GZO
Hf
In, Ir, Ir-Re, ITO, IZO
Mo, MoSi2, MoW
Nb
Ni, Ni-Cr, Ni-Cu, Ni-Fe, NiO
Pb
Pd
Pt, Pt-Ir
Ru, Rh
Sb
Si, SiO2, Si2N4, SiC, Si-Ta
Sn, SnO2
Sr, SrTiO3
Ta, Ta2O5, TaN, Ta-SiO2
Ti, TiO2, TiN, Ti-Al
W, W-Si
Y, Y2O3
Yb, Yb2O3
Zn, ZnO, Zn-Ni
Zr, ZrO2, ZrO2+Y2O3
  Shape (Size of Bucking Plate)
Large target  1400mm x 1400mm
Planer target 400mm x 2300mm
Rotary target φ160mm x 2400mm

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記入時注意事項

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  • 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
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製品分類1 Targets and Bonding
製品分類2 Reference
プロセス分類
サムネイル画像 Target Bonding Reference Information
説明文
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