Electrostatic Chuck (E-Chuck / ESC) & Heater Refurbishment
We refurbish electrostatic chuck (ESC) for sputtering / CVD equipment by distinctive refurbishment technology.
ESC is one of the most expensive items in semiconductor tools so efficacy in cost reduction is significant by adopting our refurbishment service.
Heater refurbishment flow chart
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| 製品分類1 | Consumables parts for sale/repair/overhauls/field services |
|---|---|
| 製品分類2 | Other repair/refurbishment |
| プロセス分類 |
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| サムネイル画像 |
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| 説明文 |
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