Chuck Cleaning Wafer (CCW)
Cleaning Wafer to remove dusts or particles on wafer chucks. Easy to use, reduce dummy wafer loss, and reduce equipment downtime.
Process that can be expected
- Photolithography
- Etching
- Sputtering
Principle of particle removal

- Recycle of the cleaning wafer is possible by the dedicated maintenance sheets
CCW Maker:International Test Solutions promotion movie
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製品分類1 | Consumables parts for sale/repair/overhauls/field services |
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製品分類2 | Other repair/refurbishment |
プロセス分類 |
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説明文 |
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