Chuck Cleaning Wafer (CCW)

Cleaning Wafer to remove dusts or particles on wafer chucks. Easy to use, reduce dummy wafer loss, and reduce equipment downtime.

Process that can be expected

  • Photolithography
  • Etching
  • Sputtering

Principle of particle removal

  • Recycle of the cleaning wafer is possible by the dedicated maintenance sheets

CCW Maker:International Test Solutions promotion movie

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製品分類1 Consumables parts for sale/repair/overhauls/field services
製品分類2 Other repair/refurbishment
プロセス分類
サムネイル画像 Ceramic/Quartz parts refurbishment
説明文
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