Pad Conditioner Head (Improved model for leakage error problem)

Enhanced model which realizes longer maintenance cycle of pad conditioner head (PCH).

Features of modified design

パッドコンディショナーヘッド(リークエラー改善モデル)
  • Diaphragm-less structure realizes leakage free performance.
  • 100% compatibility with OEM PCH
  • Smoother “Up & Down” and rotation
  • Superior in down force uniformity
Pad Conditioner Head  Flow

We offer regular overhaul services of PCH.

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製品分類1 Consumables parts for sale/repair/overhauls/field services
製品分類2 CMP others
プロセス分類
サムネイル画像 Pad Conditioner Head
説明文
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