Cross cover (hydrophobicity improvement model)

Modified cross cover for prevention of splashed slurry adhesion.
With this part, the user can prevent typical failures such as micro scratches by falling solid slurries.

Main feature of Modified cross cover

クロスカバー(疎水性向上モデル)

It has superior performance to OEM PVC cross cover in below.

  • Superior durability minimizes contact issue between cover and spindle of polishing head.
  • Smooth and glossy surface minimize slurry adherence on the part and reduces micro scratches problem.

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製品分類1 Consumables parts for sale/repair/overhauls/field services
製品分類2 Ion Implantation
プロセス分類
サムネイル画像 Cross Cover
説明文
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