Wafer Rotation Detection System for Mega / Brush Tank

We add “sensor-equipped roller” onto roller module located inside megatank to detect signal of rotation condition of wafer and this modification enables user to forestall conceivable trouble or failure.

Wafer Rotation Detection System for Mega / Brush Tank

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製品分類1 Consumables parts for sale/repair/overhauls/field services
製品分類2 CMP others
プロセス分類
サムネイル画像 Wafer Rotation Detection System for Mega / Brush Tank
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