Trouble Detection Monitoring System

This system enables equipment to detect some troubles by monitoring on-line in order to minimize production losses due to machine trouble.

Alarming function install services

We also provide installation services of sensors as listed below after customer purchases our modified PCH.

Standard

  • PCH up / down
  • PCH rotation
  • Platen rotation

Other Option

  • DI water pressure
  • High pressure rinse
  • Cleaning / Pedestal
  • Inter-platen cleaning
  • Global irrigation
  • Cassette tab fill
Trouble Detection Monitoring System

検索用入力欄

記入時注意事項

  • テーブルの行列は変更しないでください。
  • 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
    また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 Consumables parts for sale/repair/overhauls/field services
製品分類2 CMP others
プロセス分類
サムネイル画像 Trouble Detection Monitoring System
説明文
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