UPA Relocation (cable disconnect prevention)

We make limited space of UPA area wider by relocating UPA.
This modification leads to minimization of cable disconnection and troubles related to cable failure.

Features

UPA Relocation (cable disconnect prevention)
  • Easy to replace P1/P2 cables on UPA board
  • UPA pressure check
  • Reduction of alarm from equipment
  • Avoid damage of P1/P2 cables caused by E chain motion
  • Loss of UPA components due to polishing shark is avoidabl

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製品分類1 Consumables parts for sale/repair/overhauls/field services
製品分類2 CMP others
プロセス分類
サムネイル画像 UPA Relocation (cable disconnect prevention)
説明文
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