基板手配

シリコン/ガラス基板、膜付きウエハ、TEGウエハー

シリコンウェハ

高純度なシリコンの塊（インゴット）をスライスしてウェハ状にしたものです。半導体、太陽電池に関わる電機メーカーや素材、材料メーカーには欠かせないもので製品となる高品質で量産性の高いものから、研究用途に使用される特殊な仕様のものなど、様々な分野で使用されております。

名称	用途	装置、工程
モニターウェハ	品質チェック、条件設定用途	インプラ、スパッタ、CVD
ダミーウェハ	搬送チェック、冶具代用、パーティクルチェック用途	搬送機器、酸化炉
再生ウェハ	搬送チェック、冶具代用、パーティクルチェック用途	搬送機器、酸化炉
メタル膜付ウェハ	電極、拡散防止、反射用、シード層、遮光用途	コーター、デベロッパー、エッチャー
酸化物薄膜ウェハ	太陽電池、タッチパネル用途	コーター、デベロッパー、エッチャー
ザグリウェハ	サセプター、ステージ、トレイ用途	CVD、分析機器
薄厚ウェハ	三次元集積回路、センサー用途	接合装置
貼り合わせウェハ	パワーデバイス、MEMS用途	CMP、エッチャー
角型ウェハ	各種研究用途	-

 

サイズは1インチ～16インチまで対応可能です。 チップ（□型）形状にカットが可能です。

シリコンウェハの加工一覧

• スライス加工
• 酸エッチング
• 研磨加工
• RCA洗浄
• パーティクル測定
• ダイシング加工
• ベベリング（面取り）加工
• アニール加工
• ザグリ加工
• 溝掘り加工

サファイアウェハ

LED、GaN結晶成長基板として使用されるもので、1インチ～6インチ、特殊形状のご依頼にもお応えします。

用途は各種窓材、光デバイス、レンズ、センサーなど。

ガラス基板

電子用、光学用、工業用、医療用、用途は多種多様ですが、研究に使用されるサイズ、特殊形状のご依頼にお応えします。

名称	解説
ソーダガラス	窓や瓶に使用される一般的なもの
石英ガラス	最高純度のSiO2で、薬品耐性、耐熱性、絶縁性に優れる
合成石英	赤外線、紫外線透過率が高く、光学用レンズ、フォトマスクなどに使用
パイレックス、テンパックス	耐熱性、強度に優れ化学的腐食に耐える硬質ガラス
アルミナ珪酸ガラス	高温耐熱性に優れ、赤外線透過率の高いガラス
FTOガラス	素増感型太陽電池の研究開発用途の導電性ガラス
コーニング1737	イーグル2000の前身。1990年代LCD用の標準ガラス
イーグルXG	ハロゲン化合物を含まないLCD用ガラス