マイクロレンズアレイ作製

イメージセンサー、プロジェクター、有機ELや高輝度LED等に用いられる 高精度のマイクロレンズアレイ(フレネルレンズ、回折格子等含む)を作製します。

マイクロレンズアレイ

マイクロレンズアレイのSEM
<square lens>
レンズアレイピッチ 5~500µm 精度±5%以内
レンズ精度 曲率半径精度±10%以内
レンズアレイ作製領域 最大Φ140㎜まで
レンズアレイ材質 石英、シリコン、金属(Ni電鋳)
薄板ガラス対応 100µm~
ARコート 対応可

 

マイクロレンズアレイのSEM
<hexagonal lens>

用途

  • コリメーション
  • フォーカシング
  • スプリッター
  • イメージセンサー等

イメージセンサー、プロジェクター、有機ELや高輝度LED等に用いられる高精度のマイクロレンズアレイ(フレネルレンズ、回折格子等含む)を作製します。

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製品分類1 成膜・フォトリソ・エッチング
製品分類2 マイクロレンズアレイ
プロセス分類
サムネイル画像 マイクロレンズアレイ作製
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