ロール to ロール受託成膜加工

エレクトロニクス製品の小型・軽量・薄型のニーズに伴い、太陽電池、電子ペーパー、有機EL、リチウムイオン電池などのフィルムデバイスの開発が盛んになってきております。
当社は、フィルム材へのロール to ロール成膜の受託加工を行っております。

特徴

その他材料については、ご相談ください。

スパッタ方式	ロールtoロール
逆スパッタ	不可
基板ホルダー	ローラー面長　140㎜
反応スパッタ	要相談（O₂用マスフロー有り）
スパッタ用電源	DC
膜厚分布	±5%
排気系	ターボ分子ポンプロータリーポンプ到達圧力：1 x 10 - 4　Pa（基板なし）リーク量：10 - 3　Pa・L/s台（基板なし）真空計：ピラニーゲージ、BAゲージ分圧計：四重極質量分析計ガス導入：マスフローコントローラー
スパッタ源	マグネトロン式スパッタ源 1個
基板加熱	無し
基板搬送	ロールtoロール（張力制御付）
処理能力	ローラー幅　最大 140mm ロール長さ　～数十m
T-S距離	50mm（100mmに変更も可）
作業環境	クリーンブース処理