圧電素子向け高品質ピエゾ膜（PZT等）

圧電素子（ピエゾセンサー）は、圧力センサー、タイミングデバイス、インクジェットプリンター、圧電スピーカー、超音波探針器（ウルトラソニックトランスデューサー）、エネルギーハーベスト（エナジーハーベスト）など、色々な分野・製品に使用され生活必需品の部品として欠かせないものになってきています。
弊社ではこうした様々なアプリケーションに応じた高品質な圧電膜を取り揃えています。

専用の成膜装置で高品質な圧電膜を成膜します。
パターニング（エッチング）にも対応します。
少量から対応致します。

製法	スパッタ法、ゾルゲル法等
膜種	PZT、AlN、ZnO、LiNbO₃等
ウェハサイズ	～6インチ
特性	d31：150pm/V、±100MPaの低ストレス等

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製品分類1	成膜・フォトリソ・エッチング
製品分類2	ＰＺＴ
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