ITOスパッタ膜のシート抵抗値及び透過率

  波長(400nm) 波長(600nm) 波長(800nm)
中型機(膜厚100nm、45Ω/□) 85.80% 89.70% 88.50%
大型機(膜厚100nm、60Ω/□) 84.00% 86.80% 87.70%
中型機(膜厚300nm、15Ω/□) 58.70% 88.20% 86.80%
大型機(膜厚300nm、20Ω/□) 55.10% 84.40% 81.60%
  • 中型機の上記透過率有効範囲は、外形Φ200mm xΦ80mm のドーナツ状。
    (50mm角×6枚程度/バッチ、Φ8"×1枚/バッチは上記透過率より低下)
  • 大型機の上記透過率有効範囲は、Φ340mm以内。
    (100mm角×16~20枚/バッチ 及びΦ12"×4枚バッチ)