ITOスパッタ膜のシート抵抗値及び透過率
| 波長（400nm） | 波長（600nm） | 波長（800nm） | |
|---|---|---|---|
| 中型機（膜厚100nm、45Ω/□） | 85.80% | 89.70% | 88.50% |
| 大型機（膜厚100nm、60Ω/□） | 84.00% | 86.80% | 87.70% |
| 中型機（膜厚300nm、15Ω/□） | 58.70% | 88.20% | 86.80% |
| 大型機（膜厚300nm、20Ω/□） | 55.10% | 84.40% | 81.60% |
- 中型機の上記透過率有効範囲は、外形Φ200mm xΦ80mm のドーナツ状。
（50mm角×6枚程度/バッチ、Φ8"×1枚/バッチは上記透過率より低下） - 大型機の上記透過率有効範囲は、Φ340mm以内。
(100mm角×16～20枚/バッチ 及びΦ12"×4枚バッチ）
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| 製品分類1 | 成膜・フォトリソ・エッチング |
|---|---|
| 製品分類2 | ＩＴＯ |
| プロセス分類 |
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