耐プラズマ性評価

ドライエッチング装置による素材の耐性評価

セラミックス(アルミナ、イットリア等)や樹脂などの新素材をドライエッチング装置でプラズマに曝すことで、プラズマに対する耐久性やエッチングレートを調査します。

ドライエッチング装置でのプラズマ処理は、導入するガスにより様々な環境をつくることができます。

新素材(材料)が使用される環境をシュミレーションし、プラズマ耐性を評価することが可能です。

使用可能ガス SF6、CHF3、CF4、C4F8、Ar、O2、Cl2、XeF2

評価データ例(素材材質とガス種によるエッチングRATE比較)

プラズマ耐性評価方法

素材の一部をプラズマに曝されないようにマスキングを施します。投入する試料片の状態により最適なマスク方法を検討します。

エッチング後、マスクを外し、プラズマによってエッチングされた部分と未処理部分を触針式段差計にてエッチング量を測定します。