耐プラズマ性評価

ドライエッチング装置による素材の耐性評価

セラミックス(アルミナ、イットリア等)や樹脂などの新素材をドライエッチング装置でプラズマに曝すことで、プラズマに対する耐久性やエッチングレートを調査します。

ドライエッチング装置でのプラズマ処理は、導入するガスにより様々な環境をつくることができます。

新素材(材料)が使用される環境をシュミレーションし、プラズマ耐性を評価することが可能です。

また、安定した再現性のあるデータ取得には、サンプル作製のノウハウも重要になります。ぜひ、サンプル作製前のご検討段階でお問い合わせください。

使用可能ガス SF6、CHF3、CF4、C4F8、Ar、O2、Cl2

ドライエッチング装置仕様 / SEM写真

評価データ例(素材材質とガス種によるエッチングRATE比較)

基板配置例

Φ220mmのステージにエッチング分布の影響を抑えるために、基板を環状配置します。
ステージは、20℃固定の冷却機構となります。

プラズマ耐性評価方法

素材の一部をプラズマに曝されないようにマスキングを施します。投入する試料片の状態により最適なマスク方法を検討します。

エッチング後、マスクを外し、プラズマによってエッチングされた部分と未処理部分を触針式段差計にてエッチング量を測定します。

プラズマ耐性評価時の異物発生カウント(オプション)

耐性を向上させるために含有させた素材によっては、発塵の原因物質となる可能性があります。プラズマ耐性評価時に処理前後のパーティクル状態をカウントして、発塵性についても評価することが可能です。