技術案内：データ

耐プラズマ性評価

スパッタでCVD法と同等の絶縁膜特性を持つ、各種絶縁膜を実現

次世代パワーデバイス　研究開発向け受託加工

常温スパッタによる低抵抗ITO

薄膜リチウムイオン二次電池

ITOスパッタ膜のシート抵抗及び透過率

圧電素子向け高品質ピエゾ膜（PZT等）

ロール to ロール成膜（Al、Cu等）

薄膜受託解析・分析

CVD実績表

マイクロレンズアレイ作製

薄膜熱電対

薄膜メンブレン