CVD 実績表

装置仕様	作業雰囲気	主な加工内容	基板対応サイズ
常圧CVD	クリーンルーム、 基板洗浄可能	SiO2、PSG、他	Φ4"、Φ5"
LP-CVD	クリーンルーム、 基板洗浄可能	poly-Si、他	Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ6"
PE-CVD	クリーンルーム、 基板洗浄可能	SiO2、SiN	Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ6"、Φ8"
	クリーンルーム、 基板洗浄可能	TEOS	Φ4"、Φ5"、Φ6"