半導体製造工程 半導体製造装置(部品)洗浄

半導体製造工程における半導体製造装置(部品)洗浄では、一般的に、外注委託の洗浄業者による薬液洗浄が一般的です。しかし…

薬液洗浄外部委託の問題点

  1. 納期にあわせて部品在庫を確保しなければならない。
  2. 受渡・受取時の検査が面倒。
  3. 洗浄コストが高い。

ドライアイス剥離洗浄機「スーパーブラスト」により、超クリーンかつ、表面(アルマイト・溶射等)を傷つけない洗浄が可能となります!

実際に、ドライアイス剥離洗浄機「スーパーブラスト」で洗浄してみると…

薬液では落としきれないパーティクル・細穴部の最適洗浄例のご紹介

アルミナ部品

アルミナ部品

洗浄前

洗浄前

薬液洗浄後

薬液洗浄後

スーパーブラスト洗浄後

スーパーブラスト洗浄後

細穴貫通部品

細穴貫通部品

洗浄前

洗浄前

薬液洗浄後

薬液洗浄後

スーパーブラスト洗浄後

スーパーブラスト洗浄後

結果的にこのようなメリットがあります

真空装置部品クリーニング処理を薬液洗浄から変更したことにより、ダミーランタイムの削減ができ、ライン立上げ時間を短縮できました。

グラフ

当社ドライアイス剥離洗浄機「スーパーブラスト」の、パウダー状の微細なドライアイスを吹きつける独自の方法により、半導体製造装置の部品表面に残留するパーティクルや、シャワープレート等の狭深部(細穴、スリット)への洗浄効果が向上します。

検索用入力欄

記入時注意事項

  • テーブルの行列は変更しないでください。
  • 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
    また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 精密洗浄・ドライアイス
製品分類2 受託洗浄サービス
プロセス分類
サムネイル画像 半導体製造工程 半導体製造装置(部品)洗浄
説明文
リダイレクトURL