真空バルブ(ゲートバルブ)修理

真空バルブ(ゲートバルブ)オーバーホール(VAT、HVA等)

メンテナンスコストの削減提案!!

スパッタ、CVD、エッチャー、インプラ等に使用される真空バルブのオーバーホールを"リーズナブルプライス""短納期"で対応します。

特徴

画像:真空バルブ(VATゲートバルブ)オーバーホール :半導体製造装置用消耗パーツ(部品)再生サービス
  • リーズナブルプライス。
  • 短納期対応:Max 30日(通常60日以上)。
  • 信頼性の高い交換部品の採用。
  • 動作確認用のコントローラーも準備可能
  • リークチェック、バルブのオープン/クローズチェックも承ります。
  • 納入後も安心してご利用頂ける3ヶ月保証。
  • 修理も承ります。

再生サービスの流れ

画像:真空バルブ(VATゲートバルブ)オーバーホールサービスフロー

再生サービス実績例(参考)

画像:真空バルブ(VATゲートバルブ)オーバーホール実績例

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製品分類1 パーツ・販売・修理・オーバーホール・フィールドサービス
製品分類2 その他修理・再生関連
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