静電チャック（Eチャック/ESC）&ヒーター再生
スパッタリング/CVD装置用静電チャック（ESC）を独自の再生技術を用いて再生します。
超高額パーツの代表格でもある“静電チャック”を再生することで大幅なメンテナンスコスト の削減が実現可能となります。
ヒーター再生フロー
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記入時注意事項
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| 製品分類1 | パーツ・販売・修理・オーバーホール・フィールドサービス |
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| 製品分類2 | その他修理・再生関連 |
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