チャック クリーニングウェハ（CCW）
チャック上のゴミ/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。簡単な使用方法で、ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。
効果が期待できるプロセス
- フォトリソグラフィー
- エッチング
- スパッタリング
パーティクル除去の原理
- 専用のメンテナンスシートでクリーニングウェハの再生も可能
CCWメーカー：International Test Solutions社の紹介動画
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記入時注意事項
- テーブルの行列は変更しないでください。
- 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
| 製品分類1 | パーツ・販売・修理・オーバーホール・フィールドサービス |
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| 製品分類2 | その他修理・再生関連 |
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| 説明文 |
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