チャック クリーニングウェハ(CCW)

チャック上のゴミ/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。簡単な使用方法で、ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。

効果が期待できるプロセス

  • フォトリソグラフィー
  • エッチング
  • スパッタリング

パーティクル除去の原理

  • チャックの表面形状に合わせた3D加工も可能
  • 専用のメンテナンスシートでクリーニングウェハの再生も可能

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記入時注意事項

  • テーブルの行列は変更しないでください。
  • 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
    また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 パーツ・販売・修理・オーバーホール・フィールドサービス
製品分類2 その他修理・再生関連
プロセス分類
サムネイル画像 チャッククリーニングウェハ(CCW)
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