大学・研究機関向けオンサイトエンジニアリング アップグレード【装置の老朽化・延命対策】 真空ポンプの脱着・オーバーホール 量産装置向けフィールドサービス 電子MEMS 成膜、フォトリソ、エッチングの受託・代行 MEMSトータルソリューション マイクロ流体チップ(µTAS) ナノインプリントトータルソリューション 精密洗浄受託サービス スーパーブラスト 半導体装置部品の販売/再生/修理/オーバーホール/フィールドサービス [CMP] オリジナルパーツ [CMP] 修理/再生/オーバーホール [CMP] 設備改良・トラブル未然防止機能追加サービス [イオン注入] 修理/再生/オーバーホール [スパッタリング/CVD/エッチング/フォトリソグラフィー] 大学・研究機関向けオンサイトエンジニアリング アップグレード【装置の老朽化・延命対策】 真空ポンプの脱着・オーバーホール 量産装置向けフィールドサービス 微細加工装置（加工機） スパッタリングターゲット・ボンディング加工
