静電チャック(Eチャック/ESC)再生

イオン注入装置用静電チャック(ESC)を独自の再生技術、材料を用いて再生します。
純正品で問題視される部分を改善できる“アップグレードタイプ”の再生です。

特徴

オリジナルの“ハードミネラルコーティング”により以下の点で純正より優れた性能を発揮します。

  • スクラッチ、チッピング、アーキング、層間剥離の低減
  • IPAやアセトンなどの溶剤で拭き取れるため簡易洗浄が実現可能⇒寿命延長の実現
  • ディンプル構造のESCにより均一性の高い冷却、裏面パーティクル低減が実現可能
  • 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用ESCに対応可能
  • 使用済ESCとのエクスチェンジが可能

フローチャート

イオン注入 ダイレクトドライブ(DD)モーター再生/修理(リペア)のフローチャート

検索用入力欄

記入時注意事項

  • テーブルの行列は変更しないでください。
  • 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
    また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 パーツ・販売・修理・オーバーホール・フィールドサービス
製品分類2 イオン注入関連設備
プロセス分類
サムネイル画像 静電チャック(Eチャック/ESC)再生
説明文
リダイレクトURL