半導体装置部品の販売/再生/修理/オーバーホール/フィールドサービス
半導体製造装置（CMP/イオン注入/スパッタリング/CVD/エッチング）用の消耗パーツ（部品）及び、改造パーツによる長寿命化（ロングライフ化）、静電チャック、リテーナーリング、ヒーターの再生やDC/RF電源、真空ポンプ（クライオ/ターボ/ドライ/ロータリー）、バルブ、モーター修理等の高付加価値商品の供給によりランニングコスト削減を実現します。
注目アイテム
当社の取り扱い商品の中でも特にニーズが高く、お客様のコストリダクションの実現に大きく貢献しているアイテム群を紹介します。
CMP
イオン注入・スパッタリング
フォトリソグラフィー
「ランニングコスト低減/作業性改善」実現の具体例（PDF）
- CMP装置で慢性的に問題となっているリテーナーリングの寿命を改善した具体例
- 大学や研究所向けにクライオポンプの修理と脱着作業をセットで行い大幅なコストリダクションに成功した実例
- 生産中止のSCSIタイプFDD（フロッピーディスク）に置き換わる完全互換記録媒体の紹介
- 装置クラッシュ時もデータ損失の心配無し。ミラーリング機能付きDual HDDバックアップシステムの紹介
- 市場で入手困難なCRT（ブラウン管）モニターに置き換わる一体型液晶タッチパネルモニター及びライトペンの紹介
- FD（フロッピーディスク）内データを最新の記録媒体（SDカード/USB）に変換保存する互換ユニットの紹介
- 装置トラブルの主原因となるウェハチャック（静電・真空・メカニカル）上のゴミ/パーティクルを除去するチャッククリーニングウェハ（CCW）
取り扱いアイテム
半導体前工程(CMP/イオン注入/スパッタリング/CVD/エッチング)用でコストリダクションに貢献できる数多くの消耗パーツ(部品)、再生/修理/オーバーホールサービスを取り揃えています。
CMP
大学・研究機関向けオンサイトエンジニアリング
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| 製品分類1 | パーツ・販売・修理・オーバーホール・フィールドサービス |
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| 製品分類2 |
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| プロセス分類 | 量産プロセス |
| サムネイル画像 |  |
| 説明文 |
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