CMP・WET/洗浄 オリジナルパーツ DolDolモーター＆ドライバー リテーナーリング キャリアヘッドパーツ フレクサー パッドコンディショナーヘッド モーター：ウェットロボット アナログボードアップグレードキット 改造ウェハロス（スリップアウト）センサー 修理 QCギアボックス修理 ロータリーユニオン修理 モーター：コルモーゲン修理 モーター：ヘッドスウィープ修理 モーター：スラリーモーター修理 モーター：NSKメガトルク＆ドライバー修理 モーター：プラテン＆ギアボックス修理 ギア/ベース/ハブ：パッドコンディショナー修理 HCLUロードカップ修理 レーザー：ISRMエンドポイント修理 スピンドル修理 ローラーモジュール修理 装置 改善・改良 UPA部移設（ケーブル断線未然防止）作業 ウォーターフォールレトロフィット 電子MEMS 成膜、フォトリソ、エッチングの受託・代行 MEMSトータルソリューション ロールtoロール（R2R）プロセスの受託・代行 マイクロ流体チップ(µTAS) ナノインプリントトータルソリューション 精密洗浄受託サービス スーパーブラスト 半導体装置部品の販売/再生/修理/オーバーホール/フィールドサービス CMP・WET/洗浄 DolDolモーター＆ドライバー リテーナーリング キャリアヘッドパーツ フレクサー パッドコンディショナーヘッド ウェットロボットモーターZ/Wrist/Shoulder軸 アナログボードアップグレードキット 改造ウェハロスセンサー QCドライ/ウェットサイド/ギア修理 ロータリーユニオン修理 モーター：コルモーゲン修理 モーター ヘッドスウィープ修理 モーター：スラリーポンプ修理 モーター：NSKメガトルク&ドライバー修理 モーター：プラテン & ギアボックス修理 パッドコンディショナーギア修理 HCLUロードカップ修理 レーザー：ISRMエンドポイント修理 スピンドル修理 ローラーモジュール修理 UPAリロケーション ウォーターフォールレトロフィット イオン注入（インプラ） スパッタリング/CVD/エッチング/フォトリソグラフィー 微細加工装置（加工機） スパッタリングターゲット・ボンディング加工 磁性流体
