パッドコンディショナーヘッド(リークエラー改善モデル)

CMPパットコンディショナーヘッド(PCH)のメンテナンスサイクル延長を目的とした改造デザインです。

改造デザインの特徴

パッドコンディショナーヘッド(リークエラー改善モデル)
  • ダイヤフラムレス構造によるリークフリー性能
  • 純正PCHとの100%の互換性
  • よりスムーズなアップ/ダウン+回転機能
  • 均一性に優れたダウンフォース
パットコンディショナーヘッド工程フロー

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製品分類1 パーツ・販売・修理・オーバーホール・フィールドサービス
製品分類2 CMP各種商品
プロセス分類
サムネイル画像 パッドコンディショナーヘッド
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