DDF-3パッドコンディショナーアップグレードキット

純正DDF-3タイプのPad Conditioner Head(PCH)を“ダイアフラムレス”のPEEKシリンダー式PCHへアップグレードする”改造キット“です。

従来のPCH

連続使用でダイアフラムが破損・リークし、PCHが機能停止→頻繁にダイアフラムを交換する必要があります。

アップグレードキットを使ってPCHを改造

  • ダイアフラムを使用しない設計のためリーク起因の不具合がなくなります
  • “アップグレードキット“を使ってお客様側で従来PCHをダイアフラムレスタイプのPCHに改造可能です
  • PEEKシリンダー、Xベアリング採用によりPCHの寿命延長が可能です

アップグレード後のPCH外観

アップグレードキット内のパーツ

DDF3-PCHのみに適用可能なアップグレードです

※プーリー、ディスクは含みません
※センサ機構は含みません

検索用入力欄

記入時注意事項

  • テーブルの行列は変更しないでください。
  • 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
    また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 パーツ・販売・修理・オーバーホール・フィールドサービス
製品分類2 CMP・WET/洗浄|ディスコン対策
プロセス分類
サムネイル画像 パッドコンディショナーヘッド
説明文
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