DDF-3パッドコンディショナーアップグレードキット
純正DDF-3タイプのPad Conditioner Head(PCH)を“ダイアフラムレス”のPEEKシリンダー式PCHへアップグレードする”改造キット“です。
従来のPCH
連続使用でダイアフラムが破損・リークし、PCHが機能停止→頻繁にダイアフラムを交換する必要があります。

アップグレードキットを使ってPCHを改造
- ダイアフラムを使用しない設計のためリーク起因の不具合がなくなります
- “アップグレードキット“を使ってお客様側で従来PCHをダイアフラムレスタイプのPCHに改造可能です
- PEEKシリンダー、Xベアリング採用によりPCHの寿命延長が可能です

アップグレード後のPCH外観

アップグレードキット内のパーツ
DDF3-PCHのみに適用可能なアップグレードです
※プーリー、ディスクは含みません
※センサ機構は含みません
検索用入力欄
記入時注意事項
- テーブルの行列は変更しないでください。
- 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 | パーツ・販売・修理・オーバーホール・フィールドサービス |
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製品分類2 | CMP・WET/洗浄|ディスコン対策 |
プロセス分類 |
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サムネイル画像 |
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説明文 |
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リダイレクトURL |
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