微細パターンへの均一コーティング技術

ファインモスト Fine MoZt™(ファインモスト)とは、微細パターンへ均一にコーティングする 弊社の独自技術 です。

NIL(ナノインプリント)用離型処理、撥水コートなど、様々な分野への応用が可能です。

用途例 ナノインプリント用離型処理

ファインモスト技術を使うことによって、離型処理においての重要点の一つ、
「被覆性=パターン形状に均一にコーティングすること」の最適化が可能です。

理想的なコーティング状態の例:被覆性=パターン形状に均一にコーティングすることが高い

従来の技術では、特にサブum以下のパターンサイズや、アスペクト比が高いモールドは、深穴や深溝に離型剤を均一にコーティングすることは難しい。

ファインモスト を使った離型処理では、アスペクト比10を実現!

Fine MoZt(ファインモスト)を使った離型処理では、A/S比(アスペクト比1)0を実現!

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製品分類1 ナノインプリント
製品分類2 インプリント(転写)
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