ナノインプリントお試しモールド（金型）

ニーズに応じて最適なパターンを選択可能

離型剤コーティング加工も可能！ *離型処理サービスでは独自技術を使います。

お試しモールド＜1＞ 1 ～ 50µm

お試しモールド＜2＞ 0.5 ～ 2µm

お試しモールド＜3＞ ナノパターンモールド

種類	パターン				モールド		型番
	寸法	深さ	形状	エリア	形状	材質
パターン（1）	50、 100、 150、 200nm	100nm	L/S、ピラー、格子、 チェック、曲折を混載	1.1×1.7mm (8ヶ所)	Φ2" (t=500µm)	Si	DTM-3-1
						石英	DTM-3-2
パターン（4）	150nm	75nm	L/S	30×30mm	Φ4" (t=500µm)	Si	DTM-3-7
						石英	DTM-3-8
パターン（5）	90/250、 100/275、 120/300 nm 混載	～200nm		7×7mm (3ヶ所)		Si	DTM-3-9
		～100nm				石英	DTM-3-10
パターン（6）	135/300、 175/400、 250/500、 300/600 nm 混載	～300nm		10×10mm (4ヶ所)		Si	DTM-3-11
		～150nm				石英	DTM-3-12

* パターン(5)(6)の詳細については、お問合せください。

お試しモールド＜4＞ マイクロレンズアレイ形状　ウェハーレンズの開発に最適！

パターン（1）

パターン				モールド		型番
種類	寸法	深さ	エリア	形状	材質
(1)	(A) 約Φ2.2µm (B) 約Φ1.3µm (C) 約Φ3.8µm	(A) 約0.32µm (B) 約0.12µm (C) 約0.85µm	5×5mm (3ヶ所)	20×20mm (t=1mm)	Si	DTM-4-1
(2)	Φ18～20µm	3～4µm	60×60mm	70×70mm (t=1mm)		DTM-4-2
(3)	Φ15µm	2～3µm				DTM-4-3
(4)	Φ10µm					DTM-4-4
(5)	Φ9µm	5.2µm	50×50mm	70×70mm (t=300µm)	Ni	DTM-4-5
(6)			100×100mm	120×120mm (t=300µm)		DTM-4-6
(7)		6.5µm				DTM-4-7

お試しモールド＜5＞ フォトニック結晶

種類	パターン					モールド		型番
	寸法	深さ	形状	エリア	ピッチ	形状	材質
パターン（1）	A部 275nm B部 225nm C部 175nm D部 125nm	100 ～300nm	ピラー (三方配列) (面取りした正方形)	10×10mm (4ヶ所)	A部 500nm B部 400nm C部 300nm D部 200nm	Φ2" (t=525µm)	Si	DTM-5-1
パターン（2）	Φ240nm	～300nm	ホール (正方配列)	20×20mm	350nm	Φ4" (t=500µm)	Si	DTM-5-2
		～150nm					石英	DTM-5-3
	Φ260nm	～450nm	ホール (三方配列)	20×20mm	520nm		Si	DTM-5-4
		～200nm					石英	DTM-5-5
	Φ300nm	～450nm		46×46mm	600nm		Si	DTM-5-6
		～200nm					石英	DTM-5-7
	Φ350nm	～450nm		20×20mm	780nm		Si	DTM-5-8
		～200nm					石英	DTM-5-9
	Φ300nm	～450nm	ピラー (三方配列)	46×46mm	600nm		Si	DTM-5-10
		～200nm					石英	DTM-5-11
	Φ130nm	～200nm	ピラー (正方配列)	30×30mm	300nm		Si	DTM-5-12
		～100nm					石英	DTM-5-13
	Φ300nm	～450nm	ホール (三方配列)	Φ4">94%	600nm		Si	DTM-5-14
		～200nm					石英	DTM-5-15
	Φ350nm	～450nm	ピラー (三方配列)	20×20mm	780nm		Si	DTM-5-16
		～200nm					石英	DTM-5-17
	Φ400nm	～600nm	ホール (三方配列)		1500nm		Si	DTM-5-18
		～300nm					石英	DTM-5-19
	Φ400nm-650nm	～600nm			1000nm		Si	DTM-5-20
		～300nm			780nm		石英	DTM-5-21
	Φ400nm	～600nm	ピラー (三方配列)		1500nm		Si	DTM-5-22
		～300nm			1000nm		石英	DTM-5-23
	Φ400nm-650nm	～600nm			1500nm		Si	DTM-5-24
		～300nm			1000nm		石英	DTM-5-25

お試しモールド＜6＞ 反射防止膜

パターン				モールド		反射率	型番
寸法	深さ	形状	エリア	形状	材質
250nm	350nm	円錐形状	100×100mm	120×120mm(t=300µm)	Ni	0.2％以下(500nm~)	DTM-6-1
300nm	300nm		50×50mm	70×70mm(t=300µm)		0.6%以下(400nm~)	DTM-6-2
250nm	350nm		200×200mm	250×250mm(t=300µm)		0.2％以下(500nm~)	DTM-6-3
300nm	300nm		100×100mm	120×120mm(t=300µm)		0.6%以下 (400nm~)	DTM-6-4
500nm	700nm		80×80mm	100×100mm(t=300µm)		0.2%以下 (900nm) 0.3%以下 (1500nm) *近赤外用	DTM-6-5

* モールド厚み 100～300の範囲で選択可能

お試しモールド＜7＞ 0.5µm広範囲ナノパターン

パターン					モールド		型番
寸法	深さ	形状	エリア	ピッチ	形状	材質
0.5µm	1µm	L/S	50×50mm	1µm	Φ4" or Φ6" (t=1mm)	Si	DTM-7-1
Φ0.5µm		ホール (三方配列)					DTM-7-2
		ピラー (三方配列					DTM-7-3

* つなぎ部分に1～2µmの隙間があります。

お試しモールド＜8＞ 高輝度モールド　LED高輝度化の開発に最適！

パターン					モールド		型番
寸法	深さ	形状	エリア	ピッチ	形状	材質
Φ230nm	200nm	ホール (三方配列)	Φ120mm	460nm	Φ120mm (t=775µm)	Si	DTM-8-1
		ピラー (三方配列)					DTM-8-2

お試しモールド＜9＞ 石英モールド

パターン				モールド		型番
寸法	深さ	形状	エリア	形状	材質
75、100、150、200nm	200nm	L/S	4×4mm (4ヶ所)	20×20mm (t=850µm)	石英	DTM-9-1
75nm	150nm		24×24mm	32×34mm (t=850µm)		DTM-9-2
100nm						DTM-9-3
Φ350nm	350nm	ピラー(正方配列)				DTM-9-4
Φ250nm	250nm	ピラー(三方配列)				DTM-9-5
Φ160nm	350nm	Moth-eye (正方配列)				DTM-9-6
Φ200nm						DTM-9-7
Φ250nm		Moth-eye (三方配列)				DTM-9-8

＊予告なく仕様を変更させて頂く場合がございます。
＊モールド（金型）の一部分に、露光やエッチング不良、異物混入の箇所が発生する可能性があります。

お試しモールド＜10＞ 回折格子モールド

タイプ	パターン			モ－ルド		型番
	サイズ	深さ	エリア	形状	材質
ライン	500nm	250nm	80 x 80mm	100 x 100 mm (t=300µm)	Ni	DTM-10-1
クロス						DTM-10-2

お試しモールド＜11＞ 光制御拡散モールド

タイプ	拡散角(FWHM)	パターン	モールド		型番
		エリア	形状	材質
ライン	1°/80°	50 x 50mm	70 x 70 mm (t=300µm)	Ni	DTM-11-1
		100 x 100mm	120 x 120 mm (t=300µm)		DTM-11-2
円形	25°	50 x 50mm	70 x 70 mm (t=300µm)		DTM-11-3
		100 x 100mm	120 x 120 mm (t=300µm)		DTM-11-4