ナノインプリントお試しモールド(金型)

NIL(ナノインプリント)や射出成型の初期検討、各種実験に適した、標準パターンのモールド(金型、スタンパー)です。
ニーズに応じて、ナノオーダからミクロンオーダまで最適なサイズのパターンを選択可能です。

お試しモールド<1> 1 ~ 50µm

お試しモールド(1) 1 ~ 50µm
パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 形状 材質
1~50µm 2µm L/S2種類、ホール、
ピラーを混載
20×20mm (t=1mm) Si DTM-1-1
5µm DTM-1-2
10µm DTM-1-3

 

お試しモールド<2> 0.5 ~ 2µm

お試しモールド(2) 0.5 ~ 2µm
パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 形状 材質
0.5~2µm 1µm L/S、ホール、
ピラーを混載
20×20mm (t=1mm) Si DTM-2-1
2µm DTM-2-2

 

お試しモールド<3> ナノパターンモールド

パターン(1)

ナノインプリント用お試しモールド(金型・スタンパー):50~300nm図

パターン(2)

お試しモールド3 ナノパターン

パターン(3)

お試しモールド3 ナノパターン
種類 パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア 形状 材質
パターン(1) 50、 100、
150、 200nm
100nm L/S、ピラー、格子、
チェック、曲折を混載
1.1×1.7mm
(8ヶ所)
Φ2"
(t=500µm)
Si DTM-3-1
石英 DTM-3-2
パターン(2) 25nm
(ハーフピッチ)
40nm L/S 0.4×0.4mm
(4ヶ所)
20×20mm
(t=525µm)
Si DTM-3-3
35nm
(ハーフピッチ)
50nm 0.5×1.2mm
(4ヶ所)
DTM-3-4
パターン(3) 35nm
(ハーフピッチ)
50nm ホール
(正方配列)
0.4×0.4mm
(4ヶ所)
15×15mm
(t=525µm)
Si DTM-3-5
45nm
(ハーフピッチ)
70nm 0.6×0.6mm
(4ヶ所)
DTM-3-6
パターン(4) 125~150nm ~300nm L/S 30×30mm Φ4"
(t=500µm)
Si DTM-3-7
~150nm 石英 DTM-3-8
パターン(5) 90/250、
100/275、
120/300 nm 混載
~200nm 7×7mm
(3ヶ所)
Si DTM-3-9
~100nm 石英 DTM-3-10
パターン(6) 135/300、
175/400、
250/500、
300/600 nm 混載
~300nm 10×10mm
(4ヶ所)
Si DTM-3-11
~150nm 石英 DTM-3-12

* パターン(2)(3)は、パターンの一部に干渉不良が発生する場合があります。
* パターン(5)(6)の詳細については、お問合せください。

お試しモールド<4> マイクロレンズアレイ形状 ウェハーレンズの開発に最適!

パターン(1)

お試しモールド(4)マイクロレンズアレイ形状 1

パターン(2)

お試しモールド(4)マイクロレンズアレイ形状 2

パターン(3)

お試しモールド(4)マイクロレンズアレイ形状 3

パターン(4)

お試しモールド(4)マイクロレンズアレイ形状 4

パターン (5)

Trial Mold (4) Micro Lens Array5
パターン モールド 型番
種類 寸法 深さ エリア 形状 材質
(1) (A) 約Φ2.2µm
(B) 約Φ1.3µm
(C) 約Φ3.8µm
(A) 約0.32µm
(B) 約0.12µm
(C) 約0.85µm
5×5mm (3ヶ所) 20×20mm (t=1mm) Si DTM-4-1
(2) Φ20µm 3~4µm 60×60mm 70×70mm (t=1mm) DTM-4-2
(3) Φ15µm 2~3µm DTM-4-3
(4) Φ10µm DTM-4-4
(5) Φ9µm 5.5µm 50×50mm 70×70mm (t=300µm) Ni DTM-4-5
(6) 100×100mm 120×120mm (t=300µm) DTM-4-6

お試しモールド<5> フォトニック結晶

パターン(1)

お試しモールド5 フォトニック結晶 パターン1の図

パターン(2)

お試しモールド5 フォトニック結晶 パターン2の図
種類 パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア ピッチ 形状 材質
パターン(1) A部 275nm
B部 225nm
C部 175nm
D部 125nm
100
~300nm
ピラー (三方配列)
(面取りした正方形)
10×10mm
(4ヶ所)
A部 500nm
B部 400nm
C部 300nm
D部 200nm
Φ2"
(t=525µm)
Si DTM-5-1
パターン(2) Φ240nm ~300nm ホール (正方配列) 20×20mm 350nm Φ4"
(t=500µm)
Si DTM-5-2
~150nm 石英 DTM-5-3
Φ260nm ~450nm ホール (三方配列) 20×20mm 520nm Si DTM-5-4
~200nm 石英 DTM-5-5
Φ300nm ~450nm 46×46mm 600nm Si DTM-5-6
~200nm 石英 DTM-5-7
Φ350nm ~450nm 20×20mm 780nm Si DTM-5-8
~200nm 石英 DTM-5-9
Φ300nm ~450nm ピラー (三方配列) 46×46mm 600nm Si DTM-5-10
~200nm 石英 DTM-5-11
Φ130nm ~200nm ピラー (正方配列) 30×30mm 300nm Si DTM-5-12
~100nm 石英 DTM-5-13
Φ300nm ~450nm ホール (三方配列) Φ4">94% 600nm Si DTM-5-14
~200nm 石英 DTM-5-15
Φ350nm ~450nm ピラー (三方配列) 20×20mm 780nm Si DTM-5-16
~200nm 石英 DTM-5-17
Φ400nm ~450nm ホール (三方配列) 1500nm Si DTM-5-18
~200nm 石英 DTM-5-19
Φ400nm-650nm ~450nm 1000nm Si DTM-5-20
~200nm 780nm 石英 DTM-5-21
Φ400nm ~450nm ピラー (三方配列) 1500nm Si DTM-5-22
~200nm 1000nm 石英 DTM-5-23
Φ400nm-650nm ~450nm 1500nm Si DTM-5-24
~200nm 1000nm 石英 DTM-5-25

お試しモールド<6> 反射防止膜

Trial Mold  AR Pattern
パターン モールド 反射率 型番
寸法 深さ 形状 エリア 形状 材質
250nm 350nm 円錐形状 100×100mm 120×120mm(t=300µm) Ni 0.2%以下(500nm~) DTM-6-1
300nm 300nm 50×50mm 70×70mm(t=300µm) 0.6%以下(400nm~) DTM-6-2
250nm 350nm 200×200mm 250×250mm(t=300µm) 0.2%以下(500nm~) DTM-6-3
300nm 300nm 100×100mm 120×120mm(t=300µm) 0.6%以下 (400nm~) DTM-6-4
500nm 700nm 80×80mm 100×100mm(t=300µm) 0.2%以下 (900nm)
0.3%以下 (1500nm)
*近赤外用
DTM-6-5

* モールド厚み 100~300の範囲で選択可能

お試しモールド<7> 0.5µm広範囲ナノパターン

ナノインプリント用お試しモールド(金型・スタンパー):マイクロレンズアレイ形状図
パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア ピッチ 形状 材質
0.5µm 1µm L/S 50×50mm 1µm Φ4" or Φ6" (t=1mm) Si DTM-7-1
Φ0.5µm ホール (三方配列) DTM-7-2
ピラー (三方配列 DTM-7-3

* つなぎ部分に1~2µmの隙間があります。

お試しモールド<8> 高輝度モールド LED高輝度化の開発に最適!

ナノインプリント用お試しモールド:ウェハーレンズの開発に最適なマイクロレンズアレイ形状
パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア ピッチ 形状 材質
Φ230nm 200nm ホール (三方配列) Φ120mm 460nm Φ120mm (t=775µm) Si DTM-8-1
ピラー (三方配列) DTM-8-2

お試しモールド<9> 石英モールド

パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア 形状 材質
75、100、150、200nm 200nm L/S 4×4mm (4ヶ所) 20×20mm (t=850µm) 石英 DTM-9-1
75nm 150nm 24×24mm 32×34mm (t=850µm) DTM-9-2
100nm DTM-9-3
Φ350nm 350nm ピラー(正方配列) DTM-9-4
Φ250nm 250nm ピラー(三方配列) DTM-9-5
Φ160nm 350nm Moth-eye (正方配列) DTM-9-6
Φ200nm DTM-9-7
Φ250nm Moth-eye (三方配列) DTM-9-8

*予告なく仕様を変更させて頂く場合がございます。
*モールド(金型)の一部分に、露光やエッチング不良、異物混入の箇所が発生する可能性があります。

お試しモールド<10> 回折格子モールド

回折格子モールド
タイプ パターン モ-ルド 型番
サイズ 深さ エリア 形状 材質
ライン 500nm 250nm 80 x 80mm 100 x 100 mm (t=300µm) Ni DTM-10-1
クロス DTM-10-2

お試しモールド<11> 光制御拡散モールド

光制御拡散モールド
タイプ 拡散角(FWHM) パターン モールド 型番
エリア 形状 材質
ライン 1°/80° 50 x 50mm 70 x 70 mm (t=300µm) Ni DTM-11-1
100 x 100mm 120 x 120 mm (t=300µm) DTM-11-2
円形 25° 50 x 50mm 70 x 70 mm (t=300µm) DTM-11-3
100 x 100mm 120 x 120 mm (t=300µm) DTM-11-4

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製品分類1 ナノインプリント
製品分類2 モールド(金型)
プロセス分類
サムネイル画像 ナノインプリントお試しモールド(金型)
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