大面積モールド、ロール to ロール（R2R）モールド

大面積モールド、ロールtoロール（R2R）モールドとは

ナノインプリントに用いられるモールド（金型）の多くは、20mm x 20mmといった比較的小面積の物が一般的ですが、ナノインプリント技術を量産に適用するにあたっては、一枚あたりの取れ数を増やし生産効率を高める為に、大面積のモールドが必要となってきます。更に、ロール状（円筒形）のモールドを利用する事で、ロールtoロール（R2R）機構を用いた、製品の連続生産が可能となります。

temicon社の特徴

• 8インチウェハサイズ用及び600mm×500mm大判用の２つの露光システムを有し、最小解像度0.8µm、アスペクト比５のUV露光性能を実現します。
• レーザー干渉露光システムにより、１ｍ角以上のシームレスな１次元もしくは２次元構造を提供可能です。
• 240ｍｍ径用、及び600mm×500mm大判用の２つのマイクロ/ナノパターン用Ni電鋳システムを導入し、Ni/ハード、Ni/ニッケルアロイといった材料や製品特性等お客様ご要望に応じた対応が可能です。

大面積Niモールド

ロール to ロール（R2R）Niモールド