ロールtoロール（R2R）ナノインプリント
オーストリアにある公的研究機関JOANNEUM RESEARCHと連携しロールtoロール（R2R）ナノインプリントの試作・少量生産サービスを提供します。
ロールtoロール（R2R）ナノインプリントの特徴
- 高スループット
- 最大30m/分での高速転写が可能。
- ワイド幅の基板対応
- 最大250mm幅の基板に対応。広範囲の使用状況にも効率良く転写します。
- モールド製作対応
- モールド製作から受託加工可能。グレースケールパターンにも対応しており、幅広い光学特性のご要望にもお応えします。
- シミュレーションによる最適な金型を作製します。
- 試作から少量生産規模まで
- 開発、試作から少量生産に至るまで、カスタマイズされたソリューションを実現します。
- 高アスペクト比、斜め形状への転写
- アスペクト比5:1の2D～2.5D構造に対応。
- 2D、2.5D、および階層的なマイクロパターンおよびナノパターン。
- 高さ50 nm～200 µm、幅200nm～数mm（使用材料により異なります）までのパターンに対応。
- 独自開発樹脂NILcure（※）の活用により、多機能転写を実現。
※NILcure
NILcure シリーズはロール to ロール（R2R）ナノインプリント用にJOANNEUM RESEARCHが独自開発したカスタマイズ可能なUV硬化樹脂です。リサイクル可能材料、コンポーネント、複合材料と応用分野の研究により開発。ロール to ロール（R2R）プロセスの微細加工に使用されるバイオ由来の樹脂からなるポリマーフィルムや、紙材料の開発の中で生まれました。
独自設計のロール to ロール（R2R）ナノインプリント装置
JOANNEUM RESEARCH の ロール to ロール（R2R） システムでサポートされているプロセスパラメーター
| グラビア印刷やスロットダイコーティングによるレジスト塗布 | コーティング厚範囲 | 200nm～200µm |
|---|---|---|
| UVインプリントおよびホットエンボス加工 | UV LED 放射照度 | max. 14W/cm2、365 or 395nm |
| 水銀灯 | max. 18W/cm2、broadband | |
| UVインプリントライン圧力 | max. 330kN/m | |
| ホットエンボス加工ライン圧力 | max. 330kN/m | |
| ホットエンボス加工温度 | max. 200℃ | |
| ラミネート加工 | UVラミネート |
|
| 基板 | 透明フィルム | width 250mm |
| スループット | ウェブ速度 | 0.5 - 30m/min |
| 前処理 | コロナ | max. 1000W |
| インライン特性評価 | ラインスキャンカメラ | Resolution 5μm |
| 白色光干渉計 | 200nm - 200μm |
実現可能な構造
- 構造の高さ: 50 nm ～ 200 μm
- 構造の横サイズ: 200nm ～ 最大数mm
加工例
400 nm メタルグリッド @ 15m/min
透明電極用（金属メッシュ）
高アスペクト比 5:1 @ CD=200nm
ウェブスピード 0.1 ~30 m/min
ウェブ幅: 250mm
アプリケーション例
- 毛細管流量制御: 吸湿、マイクロ流体デバイス
- 超撥水性：水および汚れはじき
- マイクロおよびナノ機能を備えた傷防止表面
- 人工耐候性試験と実用時の用途への優れた耐性
- バイオ由来のため、リサイクル・堆肥化可能なマイクロ流体チップ
バイオニック構造のリブレット表面シート（輸送時の抵抗を軽減）
マイクロ流体Lab-on-a-chip
光導波路構造
人工結晶ファセット
マイクロ光学素子シート
回折ホログラムを使用したパッケージシート
サービスの流れ
シミュレーション、デザイン、オリジナルモールド製作（グレースケール含む）、樹脂選定、転写まで、ロール to ロール（R2R） ナノインプリントに関する一貫したサービスをご提供します。
1 : 素材開発
NIL に適した材料選択と開発。高いパターン忠実度、耐久性、再現性を備えた基板材料の選択、スタンプ（処理）、樹脂を含みます。
2 : シミュレーション、デザイニング
ご希望パターンのシミュレーションとデザイニング。CADを使用してのパターン作成。 FEM、レイトレーシング、FDTF などのシミュレーションツールを使用し設計パラメータを最適化。インプリントプロセス中の材料挙動を予測します。
3 : マスターモールド製作
マスターモールドの製作。電子ビームリソグラフィー、フォトリソグラフィー、レーザー (グレースケールレーザーリソグラフィー、二光子吸収、レーザーアブレーション) を使用して製作します。
4 : 広範囲仕様へのアップスケール
ロール to ロール（R2R）用のフレキシブルスタンプを製作するため大判ポリマー基板上にマスターモールドを複製します（アップスケーリング）。ステップアンドリピートUVインプリント装置を使用します。
5 : 試生産
プロセスの開発と最適化を伴う試作を実施。その後、インラインプロセス制御を使用して製品のプロトタイプ (最大数キロメートルのシート) をローラーベースにて製造します。
6 : 検証
最終製品の性能、光学品質、耐久性などの機能をテストする検証。お客様の特定の用途に合わせて実施。
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| 製品分類1 | ナノインプリント|ロールｔｏロール |
|---|---|
| 製品分類2 | モールド（金型）|インプリント（転写）|ロールｔｏロール |
| プロセス分類 |
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| 説明文 |
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