マイクロ流体チップ(µTAS)受託製造

ガラス

光透過性が高く、溶剤にも強い素材。ドライエッチング・ウェットエッチングによる微細加工や、オプティカルコンタクトや溶着接合など、多様な貼り合せ加工が可能。また、オランダMicronit microfluidics社との提携により、電極を間に挟み込んだ隙間の無いガラス接合も可能。

ドライエッチング加工例
ドライエッチング加工例
ウェットエッチング加工例
ウェットエッチング加工例
電極付きチップ加工例
電極付きチップ加工例

PDMS

PDMSは、ポリジメチルシロキサンの略称で、シリコーン樹脂の一種。低価格で透明性に優れた生体適合性の素材。チップ作製にあたっては、Siモールド(金型)やレジストモールドを使用して転写成型します。

チップ写真
チップ写真
Siモールド微細パターン を転写した例
Siモールド微細パターン を転写した例
レジスト型を転写した例
レジスト型を転写した例

その他の樹脂

アクリル、COC、PETなどの汎用的な樹脂素材から、生体適合性が高い特殊開発樹脂まで、様々な樹脂素材の加工が可能です。

ナノインプリント加工

金型に形成された微小な凹凸を樹脂に転写する加工法です。

SIMtech受託加工

シンガポールSIMTech Microfluidics Foundryとの提携により、樹脂製マイクロ流体チップのファンドリーサービス(設計>試作>シミュレーション>製品(量産))が可能です。 また標準チップや周辺機器(チップホルダー、高精度シリンジポンプ等)も提供可能です。

SIMtech受託加工

Si(シリコン)製チップ量産

Si基板に微細加工し、ガラスと陽極接合したチップの製作が可能です。Siを半導体技術で加工する事により、高アスペクト比のパターン等を形成可能です。

Si(シリコン)製チップ量産 1
Si(シリコン)製チップ量産 2