ポリマーMEMSソリューション

これまでSiを基板としていたMEMSから、材料特性を活用した「ポリマーMEMS」が注目されています。 当社では、「微細加工技術」をポリマーへ応用展開することに早くから取り組んでおり、今後様々な分野へ転用されるポリマーMEMS事業の技術展開をサポートします。

ポリマーMEMSにおけるキーワードと当社の対応プロセス

キーワード(ポリマーMEMS)

  • 環境にやさしい
  • 低コストで大量生産が得意
  • Siにはない特徴が出せる
  • 今後の市場成長が期待できる
  • SDGsテーマに適した開発が可能

対応プロセス(当社)

ポリマーを利用した試作・応用事例

ポリマーの特徴 プロセス 応用例
光学特性 ナノインプリント
フォトリソ
マイクロレンズアレイ・光学部品・その他
熱膨張性 成膜フォトリソ 薄膜熱電対薄膜メンブレン・その他
生体的合成 薄膜熱電対薄膜メンブレン・その他 医療用デバイス・マイクロ流体チップ・その他
柔軟性 成膜フォトリソ
ナノインプリント
高分子メモリデバイス・低消費電力変位デバイス・その他

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製品分類1 MEMS
製品分類2 MEMS試作
プロセス分類
サムネイル画像 MEMS設計開発・製造
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