フレキシブルMEMSソリューション

フレキシブルMEMSとは、従来のシリコン系MEMSと違い、有機材料を用いた量産性に優れるMEMSデバイスです。IoT/トリリオンセンサー時代における有力なデバイスとして注目されています。
これまでSiを基板としていたMEMSから、材料特性を活用した「フレキシブルMEMS」が注目されています。 当社では、「微細加工技術」をポリマーへ応用展開することに早くから取り組んでおり、今後様々な分野へ転用されるフレキシブルMEMS事業の技術展開をサポートします。

フレキシブルMEMSの特徴

• 軽い　＝>　既存のモノへの埋め込みが可能（靴・器具・タグ等）

• 薄い　＝>　隙間への取り付けが可能（歯車・熱接触・電気接触等）

• 大面積　＝>　印刷プロセスでの製造が可能

• 曲がる　＝>　曲面への貼り付けや伸縮物の表面への貼り付けが可能（電化製品・配管・タイヤ・皮膚等）

• 切れる　＝>　製造後に必要サイズへのカット調節が可能

ポリマーを利用した試作・応用事例

ポリマーの特徴	応用例	プロセス
光学特性	マイクロレンズアレイ・フレキシブル光学（素子）・その他	ナノインプリント フォトリソ・Ni電鋳
熱膨張性	薄膜熱電対・薄膜メンブレン・その他	成膜・フォトリソ
生体的合成	医療用デバイス・マイクロ流体チップ・その他	成膜・フォトリソ エッチング
柔軟性	高分子メモリデバイス・低消費電力変位デバイス・その他	成膜・フォトリソ ナノインプリント

フレキシブルＭＥＭＳ試作動画

資料ご協力：早稲田大学　岩瀬教授