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基板ホルダー

加工プロセスにおいて基板を固定・保護する為のホルダー。
エッジエクスクルージョンを最小にしつつ、片面/両面の保護が可能。Silicet社製

Silicet社はマイクロマシニングの先進的なエッチング技術におけるグローバルサプライヤーです。高品質なウェハホルダーや、化学的/電気化学的エッチングやめっき用の柔軟な加工装置の開発販売に特化としています 工業デザイン分野における長年に渡る開発経験を活かして、お客様の固有のアプリケーションに応じた製造を得意としています。その製品は、ヨーロッパ、アジア、北米で使われています。ドイツにおいては、Siemens, Bosch, Karlsruher Institut für Technologie, Fraunhofer Institutesおよびいくつかの大学と協業しています。

silicetロゴ

特徴

  • エッチャント基板裏面を完全に保護。
  • 真空吸着によって基板固定するタイプ（BASIC)と、ウェハ表裏より挟み込むタイプ（TRIO-PLUS）の2タイプあります。
  • 裏面コーティング、マスクが不要です。
  • コスト、工数を大幅に削減し、歩留まりも向上します。
  • 各種基板対応。

ケミカルエッチング、電解エッチング、電解めっき用 TRIO-PLUS ウェハホルダー

  • 4か所のクランプによりウェハを挟み込む構造です。基板裏面へのエッチャント/電解液の回り込みはありません。
  • 表面の外周3ｍｍは加工エリア外になります。
  • φ2"~12"に対応します（角基板やその他形状でも対応します）。
  • 材質は、PEEK、PP、PTFE（本体）、PVDF（シーリング）
  • サスペンションのタイプを選べます。
TRIO-PLUS ウェハホルダー

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製品分類1 微細加工装置 |精密洗浄・ドライアイス
製品分類2
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